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Dr.-Ing. Martin  Schellenberger

Gruppenleiter Geräte und Prozesskontrolle

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Schottkystraße 10
91058 Erlangen, Deutschland

Telefon +49 9131 761-222

Fax +49 9131 761 72 222